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薄膜结构X射线表征
 math-phy@mail.sciencep.com
应用物理学丛书
麦振洪 等 著
科学出版社 2015年5月出版
定价:148.00 语种:中文
标准书号:978-7-03-044195-9 装帧:平装
版本:第二版 开本:B5
责任编辑: 字数:510千字
读者对象:研究生以上文化程度 页数:404
书类:理论专著/研究生教育 册/包:
编辑部: 科学数理分社
附注:
  本书结合作者二十多年来的工作积累和国内外最新进展,系统介绍应用X射线衍射和散射技术表征薄膜微结构的多种基本实验装置、实验数据分析理论以及典型的薄膜微结构表征实例。全书分3篇(共19章):第1篇为基本实验装置(第1~3章),主要介绍X射线源、X射线准直和单色化、各种探测器以及薄膜X射线衍射仪和表面/界面散射装置。第2篇为基本理论(第4~10章),介绍薄膜X射线衍射和散射实验数据分析所用的相关理论,包括用于薄晶体或小晶体多层膜和金属多层膜的X射线衍射运动学理论;用于近完美多层膜、半导体超晶格和多量子阱的X射线衍射动力学理论;用于原子密度和晶格参数很接近的金属多层膜的X射线异常衍射精细结构理论;用于薄膜和多层膜表面与界面分析的X射线反射、漫散射理论以及掠入射衍射理论。基本覆盖了目前应用X射线衍射和散射技术研究薄膜结构所需要的理论。第3篇为薄膜微结构表征(第11~19章),介绍应用X射线衍射和散射技术表征薄膜微结构的实例,除了总结作者二十多年来在薄膜研究中所解决的微结构表征实例外,还尽量收集近年来国内外有关的重要结果,以供读者参考。薄膜的种类涉及半导体外延膜及超晶格材料、超导异质薄膜材料、金属磁性多层膜材料、软物质薄膜和有机半导体薄膜。表征的微结构包括单层膜和多层膜厚度、点阵参数、应力、表面与界面、缺陷、弛豫横向、调制结构以及钙钛矿结构氧八面体畸变。
  本书力图理论联系实验、深入浅出,而又不失先进性、实用性和普适性。可供从事薄膜材料和器件研究的研究人员和工程技术人员参考,对从事薄膜材料和器件研制与开发的专业人员也有参考价值,也可作为高等院校和研究院所凝聚态物理、材料科学和有关薄膜科学技术专业及相关专业的教师和研究生的教学用书和参考书。
麦振洪
《薄膜结构X射线表征 》
《同步辐射光源及其应用 (下册)》

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